低抵抗値の測定に役立つ方法である4端子測定法(ケルビン検出)と呼ばれるテスト方法があります。
これらの測定は、DMM(デジタルマルチメータ)、マイクロオーム計、または個別の電流源と電圧計を使用して行うことができます。
4端子測定法では、テスト電流(I)が1つのテストリードのセットを介してテスト抵抗(R)を通過し、DUT(被試験デバイス)の電圧(Vm)がセンスリードと呼ばれる2番目のリードのセットを介して測定されます。
センスリードに少量の電流が流れる場合がありますが、この状況では無視できます。 センスリードの電圧降下は無視できるため、メータで測定される電圧(Vm)は、抵抗(R)の両端の電圧(Vr)と本質的に同じです。 そして、これにより、抵抗値を2端子測定法よりも正確に測定できます。 この方法の回路説明については、以下を参照してください。
https://www.digikey.jp/schemeit/project/4-wire-kelvin-testing-A1O2MP8303AG/
関連リンク:低抵抗値を測定するときになぜ仕様を超えてしまうのか?(英語)