MZB3004T04(ピエゾポンプ)

村田社製のピエゾポンプMZB3004T04のピエゾポンプの出力風量がカタログスペックの150ml/分が、共振周波数を23.5Khz(振って合わせこみました)で、18Vppに信号発生器から入力しても40ml/分ほどしか出せない。3個購入しすべて同様なトラブルです。 .何か間違っていますか?信号は、信号発生器からSIN波で入れています。

@taguchi.tomishige 様

毎度お世話になっております。

確認させていただきますので、回答が分かり次第ご連絡いたします。

お待たせして申し訳ございませんが、今しばらくお待ちくださいますようお願いいたします。

よろしくお願い申し上げます。

@taguchi.tomishige 様

お世話になります。

お問い合わせのピエゾポンプの動作について、確認させていただけませんか。

(1) 18Vppの正弦波を信号発生器から直接印加されているのでしょうか。

データシートの「8~18Vdc」は、駆動回路の電源電圧の可能性が高いと思われます。

(2) 動作時のポンプ両端電圧や波形をオシロスコープで観測されているでしょうか。

18Vppの正弦波はひずみなどないでしょうか。

(3) 流量測定時の配管条件(チューブ長さ、内径、フィルタ有無)をご教示ください。

(4) ムラタの推奨回路をご使用でしょうか。それとも信号発生器からの直接駆動でしょうか。

データシートに記載されている流量値は推奨駆動回路・指定測定条件でのデータであり、信号発生器からの直接駆動では十分な振幅や電流が得られず流量が低下する可能性があります。

よろしくお願いします。

@taguchi.tomishige 様

お世話になっております。

先日お問い合わせいただきました、ムラタ製ピエゾポンプ「MZB3004T04」の

出力圧力が小さい件につきまして、8月6日に下記の内容を確認させていただきましたが、

現時点でご回答をいただいていない状況です。

原因確認のため、恐れ入りますが、以下についてご確認のうえご回答いただけますでしょうか。

① 「18Vpp」の正弦波を信号発生器から直接印加されていますでしょうか。
② 駆動時の実際のポンプ両端電圧を、オシロスコープで確認されていますでしょうか。
③ 流量測定時の配管条件(チューブ長さ、内径、フィルタ有無)をご教示ください。
④ 推奨ドライバ回路をご使用でしょうか。それとも、信号発生器から直接駆動されていますでしょうか。

上記情報が分かりますと、出力圧力が小さい原因について、より具体的な確認・検討が可能となります。

お忙しいところ恐縮ですが、9月10日(木)までにご回答いただけますと幸いです。

なお、期日までにご連絡をいただけない場合は、現時点では追加の確認が難しいため、

本件のお問い合わせについては本メールをもってクローズとさせていただきます。

何卒ご理解のほど、よろしくお願いいたします。

リボーン田口です。
お世話になっております。
回答させていただきます。

① 「18Vpp」の正弦波を信号発生器から直接印加されていますでしょうか。直接ピエゾポンプの端子に入力しております。
② 駆動時の実際のポンプ両端電圧を、オシロスコープで確認されていますでしょうか。
はい、確認しております。
③ 流量測定時の配管条件(チューブ長さ、内径、フィルタ有無)をご教示ください。
チューブは、20cm、外形4mm、内径2mm、フィルタなし
④ 推奨ドライバ回路をご使用でしょうか。それとも、信号発生器から直接駆動されていますでしょうか。
推奨ドライバ回路ではありません。

出てくる風量は、50ml/分 MAXでした。 以上です。 2つのポンプを試験しましたが、同じです多。

2026年9月3日(木) 14:49 Matsumura_9111 <notifications@digikey.discoursemail.com>:

@taguchi.tomishige 様

お世話になります。

ご回答をどうもありがとうございました。

本製品の評価に、データシート(P.2)に記載されている推奨駆動回路を使ってご確認いただけないでしょうか。信号発生器からの直接駆動では十分な振幅や電流が得られず、流量が低下しているものと推測されます。

製品の仕様は推奨駆動回路・指定測定条件にもとづくデータであり、推奨駆動回路を使用した場合に本来の性能が得られます。

また、18Vdcは推奨駆動回路の直流電源電圧です。

ご確認よろしくお願いします。

回答ありがとうございます。
でしたら、推奨回路で駆動している波形を参考に送っていただけますか?よろしくお願いします。

Outlook for iOS を入手

@taguchi.tomishige 様
お世話になります。

申し訳ございませんが、推奨回路で駆動した際の波形データにつきましては、現時点ではご提供可能な資料を確認できておりません。

データシートの推奨回路図によると、IC内部のスイッチングFET4個を切り替えて両極性(±18V)の矩形波を出力していることが分かります。この実効値は約18Vrmsです。一方、18Vpp正弦波の実効値は18Vpp/2√2 = 約6.4Vrmsとなり、推奨回路の出力より小さくなります。

そのため、最初にお問い合わせいただいた風量不足につきましては、駆動電圧の実効値の違いが影響している可能性が考えられます。

また、MZB3004T04の推奨駆動回路については、評価用ボード「MZBD304」も用意されています。お手数ではございますが、まずは推奨駆動回路で評価いただき、動作および流量をご確認いただけますでしょうか。

MZBD304 Murata Electronics | 評価およびデモボードとキット | DigiKey

よろしくお願いいたします。

ご返事ありがとうございます。
信号発生器から、正弦はだけではなく、矩形波でもおこないましたが、仕様に書かれた風量を出すことはできませんでした。
残念ですが、推奨回路での組み込みはできません。利用を諦めます。

2026年9月8日(火) 15:33 Matsumura_9111 <notifications@digikey.discoursemail.com>:

@taguchi.tomishige 様

お世話になります。

ピエゾポンプの駆動について、信号発生器を使用して駆動した場合に、想定よりも流量が小さいとのことですが、

流量が小さい原因の一つとして、信号発生器の出力電圧が、ポンプの推奨駆動条件に対して十分でない可能性が考えられます。

本ポンプの推奨駆動回路では、A端子とB端子を交互に18 Vまで駆動する方式となっており、AB間では以下のような電圧波形となります。

・A=18 V、B=0 V → AB間=+18 V

・A=0 V、B=18 V → AB間=-18 V

このため、AB間の電圧は±18 Vの方形波となり、電圧の実効値は18 Vrms(36 Vpp)となります。

一方、一般的な信号発生器から単純に18 Vppの信号を出力した場合、例えば±9 Vの方形波であれば、AB間の実効値は9 Vrmsとなり、また正弦波では6.4 Vrmsとなります。そのため、推奨駆動回路と比較すると、ポンプに印加される電圧が低くなり、結果として十分な流量が得られない可能性があります。

従いまして、ポンプの性能を確認される場合には、推奨の駆動回路をご使用いただくことをお勧めいたします。推奨駆動回路をご使用いただくことで、ポンプに必要な18 Vrmsの駆動電圧を確保することができます。

MZBD304 Murata Electronics | 評価およびデモボードとキット | DigiKey

なお、実際の流量は駆動周波数、波形、負荷条件、配管条件等によっても変化しますので、これらの条件についても併せてご確認いただけますと幸いです。

これで、十分理解できました。実際に電圧を36Vppで駆動してみます。ありがとうございました。

2026年9月9日(水) 11:30 Matsumura_9111 <notifications@digikey.discoursemail.com>: