コネクティビティ、デジタル化、電化、自動化、エネルギー効率の進歩が、高度な電力変換システムへの需要を促進しています。こうした変化は加速し、メーカーと半導体市場に新たな課題を生み出しています。
電力管理システムを改善するパワー半導体デバイスの開発は、今や重要な目標であり、より効率的で、より小型で、信頼性が高く、長寿命で、コスト効率が優れていることが求められています。従来のシリコン（Si）コンバータよりこれらの要求により良く応える炭化ケイ素（SiC）コンバータは、現在重要な役割を果たしています。
炭化ケイ素（SiC）とは何でしょうか？
SiCは、シリコン原子と炭素原子が四面体構造に密に配列した化合物半導体です。シリコンに比べてバンドギャップが広いため、原子結合が強く、絶縁破壊電界がシリコンの約10倍と高くなります。この強い結合はまた、より優れた熱伝導性と高い格子振動をもたらします。
以下の表は、シリコンとその他の半導体材料の物理的特性を比較したものです。4H-SiCは、他のポリタイプのSiCに比べて、電子移動度、絶縁破壊強度、飽和速度、およびその他の物理特性のバランスが優れているため、半導体材料として一般的に使用されています。
SiCダイオードとトランジスタは、信頼性を損なうことなく、より高い周波数と温度で動作します。ショットキーダイオードやFET/MOSFETトランジスタなどのSiCデバイスの主な用途には、コンバータ、インバータ、電源、バッテリ充電器、モータ制御システムなどがあります。
InfineonのCoolSiC™ 1200V SiCトレンチMOSFET - IMBG120R090M1H
Nexperiaの1200 V、80 mΩ、NチャンネルSiC MOSFET - NSF080120L4A0Q
パワーエレクトロニクスにおけるSiCアプリケーション
- 力率改善（PFC：Power factor Correction）回路
- ソーラーインバータ
- DC/DCコンバータ
- 双方向コンバータ
- 誘導加熱機器用インバータ
- モータドライブインバータ
- 降圧コンバータ
SiC MOSFETとは何でしょうか？
炭化ケイ素（SiC）MOSFET（金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ）は、従来のシリコンの代わりに炭化ケイ素を半導体材料として使用したパワー半導体デバイスです。このトランジスタの特長は、ブロッキング電圧が高く、熱伝導性に優れ、オン抵抗が低く、絶縁破壊強度が通常のシリコンMOSFETの約10倍もあります。スイッチング損失の低減により高効率を実現し、高い電力密度を可能にします。従来のシリコンベースのMOSFETと比較して、いくつかの利点があります。
| 特長 | 利点 | 利益 |
|---|---|---|
| 低いデバイスキャパシタンス | 優れたゲート酸化膜の信頼性 | 冷却の労力を軽減する最高効率 |
| 温度に依存しないスイッチング損失 | クラス最高のスイッチング損失と導通損失 | 長寿命と高い信頼性 |
| 逆回復電荷の少ない真性ダイオード | lGBT互換駆動（+18 V） | より高い周波数での動作 |
| 閾値フリーのオン状態特性 | 閾値電圧、Vth > 4V | システムコストの削減 |
| 短絡およびアバランシェに対する堅牢性 | 電力密度の向上 | |
| システムの複雑性の低減 | ||
| 設計と実装の容易さ |
Wolfspeedの900V SiC MOSFET - C3M0280090J
SiC MOSFETの特性
1. デバイス構造と特性： 600V～900VのシリコンMOSFETと比較して、SiC MOSFETはチップ面積が小さく（小型パッケージに搭載可能）、ボディダイオードのリカバリ損失が極めて小さいです。SiCデバイスは、Siデバイスよりもはるかに低いドリフト層抵抗を持っているため、低オン抵抗を達成するために伝導度変調を必要としません。MOSFETは原理的にテール電流を発生しません。その結果、SiC MOSFETのスイッチング損失はIGBTよりもはるかに低く、スイッチング周波数の向上、受動素子の小型化、冷却システムの小型化と低コスト化をもたらします。
2. オン抵抗RDSonの温度安定性： SiC MOSFETのオン抵抗（RDSon）は、チャンネル抵抗（RCH）、JFET抵抗（RJ）、ドリフト層領域の抵抗（RDRIFT）などの抵抗要素で構成され、それぞれ異なる温度係数を持ちます。
VGSが低い場合はRCHが負の温度係数で支配的ですが、VGS が高くなるとRJとRDRIFT が正の温度係数で顕著になります。VGS > 13V では正の温度係数を示し、並列デバイスの電流共有に影響を及ぼします。
RDSonの温度依存性は、降伏電圧とデバイスの種類によって異なります。たとえば、1200Vのデバイスでは、ドリフト層の抵抗が増加するため、係数が高くなります。高温では、RDSonが増加して飽和電流が制限され、デバイスの短絡耐性が向上します。
3. 閾値電圧の許容範囲： MOSFETの閾値電圧（Vth）は通常2～4ボルトで、安全な動作のために極めて重要です。閾値電圧の許容範囲（Vthの最小値から最大値までの範囲）は、SiC MOSFETの並列動作に不可欠な対称スイッチングにとって重要です。Vthの変動が小さいと、スイッチング時のストレスが軽減され、性能と寿命が向上します。一般に、温度が上昇するとVthは低下するため、安全なスイッチングを確保し、寄生的なターンオン現象を回避するため、徹底した設計許容差分析が必要となります。
4. DESAT保護： DESAT保護はIGBTの過電流検出方法です。コレクタ電流がフルに流れているときにコレクタ-エミッタ間電圧が上昇すると非飽和を検出しますが、これは明らかに効率に悪影響を及ぼし、最悪の場合はIGBTの故障につながります。
SiC MOSFET は、IDがフルに流れているときにVDSが上昇するという同じような状態に陥る可能性があります。この望ましくない状態は、ターンオン時の最大VGSが低すぎるか、ゲート駆動のターンオンエッジが遅すぎるか、もしくは短絡や過負荷状態が存在する場合に発生する可能性があります。IDがフルに流れている間にRDSが上昇し、VDSが想定外にゆっくりと上昇することがあります。
非飽和状態の間、SiC MOSFET のVDS応答は遅く、オン抵抗の増加によって大きなドレイン電流をもたらします。この遅延により、VDSが応答する前にドレイン電流が定格パルス電流の10～20倍のレベルに達する可能性があり、多くの高速スイッチングサイクルを必要とする高周波電力変換器において、不具合を認識する前に問題を引き起こしてしまう可能性があります。
5. ゲート電荷比： ダイナミック特性はデバイスのスイッチング性能を左右します。これらのパラメータのいくつかは測定条件に大きく依存します。
高速スイッチングを導入する場合、浮遊容量とデバイス本体の容量に対する過渡現象の影響を考慮してください。ゲート-ソース間容量（Cgs）は遅延時間とdi/dtに影響し、ゲート-ドレイン間容量（Cgd）はdv/dtに影響します。ドレイン-ソース間容量（Cds）は、遅延時間とdi/dtに影響を与えずにdv/dtに影響を与えます。
ゲート電荷パラメータ（QG、QGS、QGD）は、スイッチング性能を判断する上でより有用であり、QGが低いほどゲート駆動損失が減少します。正確な動作評価のためには、キャパシタンスよりもゲート電荷のデータに注目 してください。安定した性能を得るためには、QGSに対するQGDの比が低いことを確認してください
ハードスイッチングアプリケーション用のデバイスを選択する場合、QGDとRDSonによってデバイスの性能指標がより適切に示されます。ソフトスイッチングコンバータの場合、QGDとRDSonと共にQossを使用することで、デバイスの適合性をより明確に示すことができます。
6. ゲート駆動電圧： このセクションでは、ゲート駆動電圧がSiC MOSFETのスタティック損失とダイナミック損失に与える影響について説明します。適切なチャネル反転、低オン状態損失、高速スイッチングには高いオン状態 VGSが必要であり、一方で低いVGSはゲート酸化膜ストレスを低減し、信頼性を向上させます。
ゲート駆動電圧を最適化する際には、RDSonの温度に対する影響を考慮してください。13V以下ではドレイン電流が温度とともに増加するため、VGSは13V以上に保つ必要があります。オン状態の動作を改善するために、VGSを15V以上にしてデバイスを駆動することができます。
適切なゲート電圧を選択することは、パワーデバイスの電気的性能と信頼性のバランスをとる上で極めて重要です。加速ストレステストは、VGSが閾値電圧とゲート酸化膜の信頼性に与える影響を、特に高温で評価するのに役立ちます。
まとめ
この記事では、設計エンジニアが電力変換システムを最適化するのに役立つ、SiC MOSFETの主要なパラメータに重点を置いています。SiC MOSFETは、コンバータ、インバータ、モータ制御システムなどのアプリケーションにおいて、従来のシリコンデバイスよりも優れた性能を提供します。オン抵抗、閾値電圧許容値、ゲート駆動電圧などの重要なパラメータは、効率と信頼性を高めます。適切な設計と実装により、性能が向上し、ストレスが軽減され、デバイスの寿命が延び、ハイパワー、高温動作がサポートされます。
半導体市場の進化に伴い、SiC 技術は継続的な進歩と電源管理ソリューションの向上を約束します。
SiC（炭化ケイ素）MOSFET品番
| DigiKey品番 | メーカー品番 |
|---|---|
| 448-IMBF170R1K0M1XTMA1TR-ND、448-IMBF170R1K0M1XTMA1CT-ND、448-IMBF170R1K0M1XTMA1DKR-ND | IMBF170R1K0M1XTMA1 |
| 1242-G2R1000MT17D-ND | G2R1000MT17D |
| 448-IMBF170R650M1XTMA1TR-ND、448-IMBF170R650M1XTMA1CT-ND、448-IMBF170R650M1XTMA1DKR-ND | IMBF170R650M1XTMA1 |
| 448-IMBG120R350M1HXTMA1TR-ND、448-IMBG120R350M1HXTMA1CT-ND、448-IMBG120R350M1HXTMA1DKR-ND | IMBG120R350M1HXTMA1 |
| 448-IMBF170R450M1XTMA1TR-ND、448-IMBF170R450M1XTMA1CT-ND、448-IMBF170R450M1XTMA1DKR-ND | IMBF170R450M1XTMA1 |
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| 2312-UJ4C075060K3S-ND | UJ4C075060K3S |
| 1242-G3R450MT17D-ND | G3R450MT17D |
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| SCT3120ALGC11-ND | SCT3120ALGC11 |
| 2312-UF3C065080B7STR-ND、2312-UF3C065080B7SCT-ND、2312-UF3C065080B7SDKR-ND | UF3C065080B7S |
| 2312-UF3C120080B7STR-ND、2312-UF3C120080B7SCT-ND、2312-UF3C120080B7SDKR-ND | UF3C120080B7S |
| SCT3160KLGC11-ND | SCT3160KLGC11 |
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| 2312-UJ3C120080K3S-ND | UJ3C120080K3S |
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| C2M1000170D-ND | C2M1000170D |
| 846-SCT2450KEGC11-ND | SCT2450KEGC11 |
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| 448-IMW120R060M1HXKSA1-ND | IMW120R060M1HXKSA1 |
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| C2M0160120D-ND | C2M0160120D |
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| 2312-UJ4C075018K3S-ND | UJ4C075018K3S |
| 1697-C3M0065090D-ND | C3M0065090D |
| 448-IMW120R030M1HXKSA1-ND | IMW120R030M1HXKSA1 |
| 1697-C3M0075120J-ND | C3M0075120J |
| 1697-C3M0075120D-ND | C3M0075120D |
| 1697-C3M0065090J-ND | C3M0065090J |
| 1697-C3M0065090J-TR-ND、1697-C3M0065090J-CT-ND、1697-C3M0065090J-DKR-ND | C3M0065090J-TR |
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| C3M0065100J-ND | C3M0065100J |
| C3M0065100K-ND | C3M0065100K |
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| 5556-NTH4L020N090SC1-ND | NTH4L020N090SC1 |
| 5556-NTHL015N065SC1-ND | NTHL015N065SC1 |
| 5556-NTHL020N090SC1-ND | NTHL020N090SC1 |
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| 448-IMYH200R075M1HXKSA1-ND | IMYH200R075M1HXKSA1 |
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| 1697-C3M0015065D-ND | C3M0015065D |
| 1242-G3R20MT12K-ND | G3R20MT12K |
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| 846-SCT4013DW7TLTR-ND、846-SCT4013DW7TLCT-ND、846-SCT4013DW7TLDKR-ND | SCT4013DW7TL |
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| 1242-G3R20MT17K-ND | G3R20MT17K |
| C2M0045170D-ND | C2M0045170D |
| 448-IMYH200R012M1HXKSA1-ND | IMYH200R012M1HXKSA1 |
| 1242-G3R20MT17N-ND | G3R20MT17N |
| IMW120R350M1HXKSA1-ND | IMW120R350M1HXKSA1 |
| 5556-NTBG1000N170M1TR-ND、5556-NTBG1000N170M1CT-ND、5556-NTBG1000N170M1DKR-ND | NTBG1000N170M1 |
| 1242-G3R350MT12D-ND | G3R350MT12D |
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| 150-MSC750SMA170B-ND | MSC750SMA170B |
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| 150-MSC750SMA170B4-ND | MSC750SMA170B4 |
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| 497-SCT20N120HTR-ND、497-SCT20N120HCT-ND、497-SCT20N120HDKR-ND | SCT20N120H |
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| 150-MSC080SMA330B4-ND | MSC080SMA330B4 |
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| 5556-NTHL1000N170M1-ND | NTHL1000N170M1 |
| 691-MSC080SMA120J-ND | MSC080SMA120J |
| 846-SCT4013DRC15-ND | SCT4013DRC15 |
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| 448-IMBG65R083M1HXTMA1TR-ND、448-IMBG65R083M1HXTMA1CT-ND、448-IMBG65R083M1HXTMA1DKR-ND | IMBG65R083M1HXTMA1 |
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| 497-SCT040H65G3AGTR-ND、497-SCT040H65G3AGCT-ND、497-SCT040H65G3AGDKR-ND | SCT040H65G3AG |
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